SuperViewW系列白光干涉3d形貌測量儀是以白光干涉技術原理,對各種精密器件表面進行納米*測量的儀器,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
SuperViewW系列白光干涉3d形貌測量儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米*別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。
(1)白光干涉3d形貌測量儀設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;
(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能;
(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能;
(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能;
(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。
對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
應用范例:
W系列3d輪廓儀的自動拼接測量功能,不管是在粗糙或是光滑、異形或是平面結構,當要測量超出適配鏡頭下的單視場區域的時候,可以根據不同表面特點進行重建算法的切換。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點,測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
型號 |
W1 |
|
光源 | 白光LED | |
影像系統 | 1024×1024 | |
干涉物鏡 |
標配:10× 選配:2.5×、5×、20×、50×、100× |
|
光學ZOOM |
標配:0.5× 選配:0.375×、0.75×、1× |
|
標準視場 | 0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學ZOOM 0.5×) | |
XY位移平臺 |
尺寸 |
320×200㎜ |
移動范圍 | 140×100㎜ | |
負載 | 10kg | |
控制方式 | 電動 | |
Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
控制方式 | 電動 | |
臺階測量 | ||
可測樣品反射率 | 0.05%~** | |
主機尺寸 | 700×606×920㎜ |
如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。