型號：VGT-1018S

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1，腐蝕工藝自動(dòng)補(bǔ)藥液*證了工藝槽在運(yùn)行過程中濃度的穩(wěn)定性；

2，工藝參數(shù)（溫度，時(shí)間，DIW水清洗模式、時(shí)間可調(diào)）手動(dòng)由觸摸屏界面可

設(shè)定；

3，機(jī)臺前方為清洗工作區(qū)域，機(jī)臺后上方為電器和氣路布置區(qū)域，后下方為液

路布置區(qū)域。

4，藥液供給及補(bǔ)液方式: 分體式CDS自動(dòng)供液系統(tǒng)

5，DI槽配有在線式水質(zhì)檢測裝置；

6，配有分體式廢液回收系統(tǒng)；

7，配備自動(dòng)滅火系統(tǒng)；

8，環(huán)保型自動(dòng)、智能清洗系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：

用于鍺片鍍膜前處理的清洗，也可以用于其他晶片的清洗腐蝕；

工藝說明：手動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)放件，取件，槽體間傳送件；

設(shè)備形式：室內(nèi)放置型；

設(shè)備結(jié)構(gòu)：一體式、中央集成型

技術(shù)參數(shù):

超聲波功率：900w

超聲波頻率：28khz/48khz

換能器數(shù)量：18個(gè)

電源電壓:三相五線380V