工業廢氣由管道經過防爆裝置進入多元復合等離子光氧催化廢氣處理設備降壓段,降低風速后進入等離子段,《等離子體是不同氣態、固態、液態的第四態物質,由高能電子、正負離子、自由基(0H、H、0、03,等)和中性粒子等組成。等離子分為平衡等離子和非平衡等離子,低溫等離子體主要由氣體放電產生的氣體經過等離子氣體凈化裝置的反應器區域時,等離子體中的活性自由基可以有效的破壞各種病毒、細菌中的核酸,蛋白質,使其不能進行正常的代謝和生物合成,從而導致其死亡。在高能電子和自由基強氧化等多重作用下,氣體中的有機物分子鏈被斷開,發生一系列復雜的氧化還原反應,生成CO2.H20等無害物質,正負離子可以清新空氣。另外多元復合等離子光氧催化廢氣處理設備借助等離子體中的離子與物體的凝并作用,可以對小至亞微米級的細微顆粒物(0.1-3微米)進行有效的收集。在經過光氧催化段,進行氧化還原反應,利用特制的高能高臭氧UⅣV紫外線光束照射廢氣,裂解工業廢氣,臭氧是一種強氧化劑,也是世界公認的光譜高效殺菌消毒劑。臭氧比氧分子多了一個活潑的氧原子,化學性質特別活潑。多元復合等離子光氧催化廢氣處理設備強大的氧化性,既可以氧化分解有機物,也可以分解無機物.對主要臭氣氨、三甲胺、甲苯、二甲苯、甲硫醇、甲硫醚、二硫化碳、苯乙烯都可以裂解。在臭氧的作用下,這些有機污染物由大分子物質被分解為小分子物質,沒有任何有毒殘留,不會形成二次污委.被譽為“*清潔的氧化劑和消毒劑”

多元復合等離子光氧催化廢氣處理設備初級電子在電場中獲得加速,撞擊空氣中的氧分子。當能量超過氧分子的電離電位時氧分子迅速離子化。失去電子的氧分子變成正極性氧離子(0+),而釋放的電子又與另一中性氧分子結合變成負極性氧離子(02-)就,結果是氧離子的兩極分化并吸附中性氧分子形成02+、O2-、0等氧聚集的離子群,具有極強的氧化性,可在很短的時間內將污染空氣中的有害成分氧化分解為無害的產物和水：

催化燃燒主要利用催化劑將需要處理的廢氣當中的可以燃燒的物質，在一種較低溫的情況下進行氧化以及分解的一種方法。在整個催化凈化過程中，催化劑扮演的角色是用來降低化學反應的活化能，從而使反應條件更有利于可以控制的目的。 借助催化劑的作用可以有效地使廢氣在較低的溫度條件下進行起燃，從而發生無焰燃燒，然后凈其氧化分解為無害的二氧化碳和水，并釋放出大量的熱能，這樣就可以達到去除廢氣當中的有害物質的，凈化廢氣。