光氧活性炭一體機是一種新興的成套廢氣處理設備，亦被常常稱為活性炭光氧一體機，它綜合采用了光氧設備和活性炭吸附箱的優點組合而成。

工業VOCs有機廢氣進入光氧活性炭一體機時，首先進入光氧催化設備內部，UV紫外線光氧催化設備再通過破壞、分解、催化氧化把污染氣體分解為無毒無害無味氣體。采用高能C波段光線強裂污染氣體分子鏈，改變物質分子結構，將高分子污染物質裂解、氧化成為低分子無害物質，如水和二氧化碳等。在分解過程中產生高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有極強的清除效果。同時紫外線光也具有消毒和殺菌的作用。

未被光氧設備分解的VOCs有機廢氣依次進入活性炭吸附箱。正藍活性炭采用的是蜂窩式的塊狀活性炭， 主要由含炭材料制成的外觀呈黑色，內部孔隙結構發達、比表面積大、吸附能力強的一類微晶質炭素材料。活性炭具有大量肉眼看不見的微孔，這些微孔就像人體的毛細血管，具有較大的比表面積。舉例來說在一個米粒大小的活性炭顆粒中，微孔的內表面積可能相當于一個客廳面積的大小。活性炭具大的比表面積使活性炭擁有了優良的吸附性能，能將有機廢氣牢牢的吸附在自己周圍，并能將廢氣進行有效的吸附，活性炭會源源不斷的對廢氣進行吸附，直到活性炭吸附飽和為止。