一、 粘度選擇原則
選擇油品粘度是真空泵性能的重要因素之一。液體的粘度是液體流動的阻力，或者說是液體的內摩擦力。粘度越大，各種部件運動速度的阻力就越大，溫升增高，功率損失大；粘度太小，泵的密封性能變差，引起氣體的泄漏，真空變劣。因此各類真空泵對油品粘度的選擇極為重要，對油品粘度選擇的原則是：

1、泵的轉速愈高，選擇油品的粘度愈低。
2、泵的轉子運動線速度愈大，選擇油品的粘度愈低。
3、泵部件的加工精度愈精或摩擦件之間的間隙愈小，選擇油品的粘度愈低。
4、真空泵在高溫工況使用時，選擇油品的粘度以大為宜。
有冷卻水循環的真空泵，一般選用粘度較低的油品為宜。
二、推*真空泵油粘度范圍
根據上述這些原則，對各類真空泵用油的粘度范圍推*如下：
01、活塞式真空泵（W型）使用一般的機油即可，用V100、V150粘度等級的油品。
02、旋片式真空泵（2X型）選用V68、V100粘度等級油品。
03、直聯（高速）旋片式真空泵（2XZ型）選用V46、V68粘度等級油品。
04、滑閥式真空泵（H型）選用V68、V100粘度等級油品。
05、余擺線真空泵（YZ、YZR）選用V100、V150粘度等級油品。
06、羅茨真空泵（機械增壓泵）齒輪傳動系統的潤滑，可選用V32、V46真空泵油。
07、其他類型的真空泵，可根據其轉速、加工精度、極限真空等，選用相對應的油品。
隨著信息科技產業的發展,半導體產品應用層面愈益廣泛,車用及通訊用等電子產品持續發展。真空技術也隨之不斷創新,擴展至包括PVD/CVD鍍膜制程、靜電吸附盤及蝕刻制程等設備,在半導體產業己占有舉足輕重的地位。但是半導體工業在芯片加工過程中必須使用一些特殊的氣體與某些具有毒性的強氧化劑,因而要求在工藝加工過程中廣泛使用的真空泵及其用油具有非常優越的適應性。
通常用的真空泵油有兩種:碳氫化合物油與全氟聚醚油(PFPE)。碳氫化合物油極易燃燒,化學結構不穩定,容易降解,使得潤滑性能容易降低,從而易導致真空泵出現故障。而PFPE由碳、氧、氟原子組成,屬于耐腐蝕性氣體真空泵油分類中的ISO-6743A-1987/DVB、DVD、VDF類油品。該油品中的氫原子全部為氟原子取代,由其分子結構特點決定,具有絕佳的熱穩定性、化學惰性、不燃性。能夠在VF3、PH3、AsH3及其它鹵素化合物(BF3、BC13、PC13、TIC14、SnC14、SIC14)等具有強腐蝕性的環境中保持穩定,甚至在高溫下也有一定的抗腐蝕作用。與常規的油品相比,不僅安全,而且使用壽命長。PFPE可用于有制氧系統和有腐蝕氣體的半導體系統和強輻射的場合,尤其是針對半導體芯片加工過程中有特殊氣體及強腐蝕性化學物質的蝕刻制程和沉淀過程。

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