激光干涉儀是一種以波長作為標準對被測長度進行測量的儀器。激光干涉儀是20世紀60年代末期問世的一種新型的測量設(shè)備，由美國HP公司研制成功并于1970年投入市場，隨即受到了相關(guān)行業(yè)特別是機床制造業(yè)的重視，其主要在：線形、角度、垂直度、直線度、平面度等方面上應(yīng)用。隨著激光干涉儀測量技術(shù)的不斷提高，測量軟件的不斷開發(fā)其測量范圍越來越廣泛，特別是在測量數(shù)控機床位置精度方面用途*為廣泛。

國產(chǎn)激光干涉儀代表為中圖儀器SJ6000激光干涉儀。SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實現(xiàn)快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組可以測量出線性、角度、直線度、平面度和垂直度等幾何量，并且可以進行動態(tài)分析。

激光干涉儀工作原理（SJ6000）

激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而**道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入**個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。

若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

國產(chǎn)激光干涉儀（SJ6000）技術(shù)參數(shù)：

系統(tǒng)性能
測量方式：單頻
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
動態(tài)采集頻率：50 kHz
預(yù)熱時間：約6分鐘
工作溫度范圍：0~40℃
環(huán)境溫度范圍：0~40℃，環(huán)境濕度：0~95%
存儲溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補償示值誤差
空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線性測量
測量距離：0-40m
測量精度：0.5ppm (0-40℃)
測量分辨率：1nm
測量*大速度：4m/s