微小氣體流量計|廣州微型氣體流量計|小體積氣體流量傳感器|極小氣體流量傳感器 廣東微型氣體流量傳感器|廣州氣體流量傳感器|廣州微小氣體傳感器 HFS4001小流量氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。獨特的封裝技術使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現對傳感器的靈活配置與參數查詢。 產品特點： ? 傳感器靈敏度高，有極小的始動流量 ? 傳感器芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，*保*了傳感器的高精度計量 ? 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高 ? 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據(RS232)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓 ? 零點穩定度高 ? 全量程高穩定性、高精度和優良的重復性 ? 低功耗、低壓損 ? 響應速度快 型號：HFS4001 流量范圍：0～30,100,200,500,1000, sccm 量程比：>100：1過 精度：±（1.5±0.5FS）% 重復性：±0.25% 零點輸出飄逸：±30 mV 輸出飄逸：0.2 %/oc 響應時間：4，8，16，33，65，131 ms 工作電源：8~18Vdc,50mA 輸出方式：RS232,模擬電壓0.5~4.5Vdc 流量壓損：350 300 Pa 流量壓力：0.5 MPa 工作溫度：-5~+55 oC 存儲溫度：-20~+65 oC 工作濕度：