泵浦組件

 

本系列為多段羅茨干式真空泵浦，泵浦內部是由一對多段式轉子組成的，逐級壓縮被 抽氣體，從而提高能源的有效利用率，減少損耗；同時因轉子為三葉轉子使之旋轉一周實現三次排氣，從而提高了排氣的穩定性，降低排氣噪音。

轉子由一對齒輪帶動同步運轉；齒輪、軸承以氟化油作為潤滑劑，并通過唇形密封與 腔體分隔在一個單獨的區域，故能使腔體保持在無油的工作狀態。

冷卻水

 

由于真空泵浦內壓縮氣體從真空狀態到大氣壓力會產生熱量，因此需要冷卻水來保持馬達與泵體在安全的工作范圍之內。冷卻水接頭使用易于安裝與拆卸的快速接頭， 以方便現場人員的安裝調試與檢修。

排氣端

 

在排氣端安裝有逆止閥，防止泵浦停止運轉后排出的氣體回流到真空腔體內。

控制系統

 

本系列干式真空泵浦裝配有漏電斷電開關（ELB）、馬達啟動控制回路。為了增強泵浦運轉過程中的可靠與安全性，泵浦重要部位的溫度都由感應器監控，并通過控 制面板對泵浦的實際運轉狀況實現實時顯示，其中包括電力供應、冷卻水流量、馬達 線圈溫度與馬達電流值以及在運轉過程中出現的異常狀況的警告！