NanoPWM驅(qū)動器-代替線性驅(qū)動器

利用ACS所有的NanoPWM技術(shù)，產(chǎn)品線PWM驅(qū)動器提供的*極*的靜止抖動和平滑的速度性能，相較于經(jīng)典的商業(yè)上可用的線性驅(qū)動器。

ACS的NanoPWM驅(qū)動器提供*好的運動性能（*保*的），減小安裝尺寸，減少熱耗散，和經(jīng)濟的價格。NanoPWM驅(qū)動器是**極*驅(qū)動器用于450MM和300MM晶圓制程平臺，也可以用于其他需要以平滑的速度和亞納米級抖動的高速度和加速度的伺服控制應(yīng)用。

用一個Spilplus的控制器和NanoPWM驅(qū)動器控制一個直線平臺，可以達(dá)到下面的性能：

*靜止抖動好于0.3納米（機械平臺）

*跟隨誤差在速度100MM/秒時為10納米（氣浮平臺）

納米定位和高速度

當(dāng)需要高速度，納米定位的分辨率時，OEM廠家至今局限于昂貴的激光干涉儀反饋系統(tǒng)，用ACS的10MHZSpilplusSin-Cos編碼器差分器，控制系統(tǒng)設(shè)計師現(xiàn)在有了經(jīng)濟的替換方案，用模擬量光學(xué)編碼器或者激光原理的超快編碼器就夠用了。

*精確和柔性的龍門控制

對于高精度龍門定位平臺，有兩個電機（每個有自己的反饋）被用來控制一個軸。ACS運動控制已經(jīng)開發(fā)了獨特和有力的算法提供前所未有水準(zhǔn)的定位精確度，速度穩(wěn)定性，和整定時間。

龍門算法主要特征：                                      優(yōu)勢：

*帶解耦環(huán)的MIMO控制                                      *更高的帶寬

*縱向伺服環(huán)控制                                          *更好的穩(wěn)定性

*旋轉(zhuǎn)（偏擺）方向伺服環(huán)控制                               **小的軸相互干擾

*自動力/編碼器調(diào)度作為橫梁軸位置的函數(shù)                    *調(diào)試簡單

*偏擺角的動態(tài)補償                                        *可靠的操作

*剛性龍門和柔性龍門都適合

ACS

為性能設(shè)計的強大平臺

ACS強大的平臺由EtherCAT主站MPU(運動處理器）和在每個EtherCAT從站上的伺服處理器（SPil).MPU可以管理至多達(dá)64個同步軸的系統(tǒng)，執(zhí)行高水平任務(wù)，比如通訊ACSPL+和PLC編程，診斷1/o控制和軌跡的規(guī)劃。在每個節(jié)點上的SPil浮點處理器執(zhí)行時控制算法*多到4個軸，他們每個軸的采樣和刷新率都是20KHZ.

MPU可以修改和刷新SPil控制算法，插入激勵信號到控制對象并采樣實時數(shù)據(jù)，比如20KHZ的位置誤差。

ACS利用分布式處理器平臺已經(jīng)超過20年了。采用EtherCAT對來說是很自然的演變。分布式系統(tǒng)遇到的所有邏輯和安全相關(guān)的問題都在很久前解決（比如控制器，節(jié)點和通訊連接故障失效系統(tǒng)的響應(yīng)，MPU失效軸會發(fā)生什么問題）。使ACS在當(dāng)今的工業(yè)中能夠提供*堅固的EtherCAT控制解決方案。

高度集成，增加精確度和產(chǎn)量

性能取決于所有的器件-控制器，軟件，驅(qū)動器，電源的內(nèi)部連接和支持工具。這些部件的每個部分在設(shè)計和優(yōu)化過程中為了成就一個目標(biāo)，增加你的機器的性能。完整的系統(tǒng)通過測試確保運動性能不處在將就的水平。