包括漢鐘干式螺桿式真空泵和漢鐘干式多級羅茨真空泵

PDR系列

包括機型 漢鐘真空泵 PDR100 ， 漢鐘真空泵 PDR602， 漢鐘 真空泵 PDR1202

上海漢鐘干式真空泵 PS系列 

包括機型  漢鐘真空泵PS80 ，漢鐘真空泵PS160，漢鐘真空泵 PS180，漢鐘真空泵 PS602，漢鐘真空泵 PS1302

 

漢鐘真空泵PS系列產品特點

螺旋真空泵浦產品特色

　　漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子，在轉子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉子線形良好的密封效果，*極*壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉子表面披覆特殊材質的鍍膜，因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程。

 

泵浦溫度控制精準 

　　漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦，承襲上一代真空泵浦優良的轉子設計，同時改善殼體的冷卻方式，采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度，能夠更精準地控制泵浦內部溫度，減少沉積物的產生，增加真空泵浦的壽命。 

 

密封馬達安全性高

　　PS系列真空泵浦亦全面采用專利設計的水冷罐裝密封馬達，除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外，也可完全避免制程氣體外漏的風險。

 

微電腦控制保護周全 

　　PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器，可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保護，十分適用于光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業。

 

PZt系列雙級旋片泵

世界先進的技術

1.兩檔可調氣鎮，更方便不同工藝對蒸汽排出量的要求。

2.強制潤滑，內置齒輪泵及恒壓供油機構強制供油，高吸氣壓強下也能提高穩定可靠運行。

3.雙重防返沒油結構，自動防返油結構設計，更可靠地保護您的真空系統在停機后免受油的污染。

4.整體式泵體，零部件量少，重復性好，便于維修及保養。